[发明专利]靶材清洗方法、用于其的装置、靶材制造方法和靶材、及再循环铸锭制造方法和再循环铸锭在审
| 申请号： | 201810267287.2 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108690958A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 西冈宏司;塚田洋行 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B08B3/14;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材清洗方法、用于其的装置、靶材制造方法和靶材、及再循环铸锭制造方法和再循环铸锭。本发明提供一种靶材的清洗方法，所述清洗方法包括下述工序：从用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶中分离前述靶材的工序；以及，通过向前述靶材的附着有前述接合材料的面喷射水，从而将前述接合材料从前述靶材除去的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 再循环 铸锭 接合材料 清洗 制造 支承构件 溅射靶 喷射水 附着 金属 | ||
【主权项】：
1.靶材的清洗方法，所述清洗方法包括下述工序：从用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶中分离所述靶材的工序；以及通过向所述靶材的附着有所述接合材料的面喷射水，从而将所述接合材料从所述靶材除去的工序。
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