[发明专利]研磨垫及研磨方法有效
| 申请号： | 201810269508.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108687653B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 陈劲弛;陈忆萍 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 吴志红;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫及研磨方法，该研磨垫适用于研磨制程且包括研磨层、黏着层以及至少一热量存储材料。研磨层具有彼此相对的研磨面及背面。黏着层配置于研磨层的背面上。至少一热量存储材料所配置的区域位于黏着层的上方。本发明的研磨垫及研磨方法使得在研磨制程期间，可调降研磨垫的温度，以避免黏着层在研磨制程期间发生因高温而劣化、变形或黏性下降的问题进而影响研磨制程的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，适用于研磨制程，其特征在于，所述研磨垫包括：研磨层，具有彼此相对的研磨面及背面；黏着层，配置于所述研磨层的所述背面上；以及至少一热量存储材料，所述至少一热量存储材料所配置的区域位于所述黏着层的上方。
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