[发明专利]一种太阳能电池生产用蚀刻装置

摘要

本发明公开了一种太阳能电池生产用蚀刻装置，包括蚀刻槽和安装于蚀刻槽上的喷淋装置；所述蚀刻槽的前表面开有进料口，所述蚀刻槽的后表面开有与进料口相配合的出料口；所述蚀刻槽的左侧外表面设有蚀刻液槽，所述蚀刻槽的右侧表面设有集废液槽；所述蚀刻槽的左侧表面顶端边缘处固定有连接横梁，所述连接横梁的表面贯穿固定有蜗杆；所述喷淋装置包括喷淋管，所述喷淋管的表面固定有蜗轮；所述喷淋管的左侧端处通过轴套连接有进液管，所述喷淋管的右侧端处通过轴连接有出液管。本发明的蚀刻装置结构简单、操作自动化，蚀刻液喷洒均匀，蚀刻效果均匀，同时，具有稼动率高、清洗能力强且不会产生二次污染的优点。

主权项

1.一种太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于，包括蚀刻槽(1)和安装于蚀刻槽(1)上的喷淋装置(2)；所述蚀刻槽(1)的前表面开有进料口(11)，所述蚀刻槽(1)的后表面开有与进料口(11)相配合的出料口(12)；所述蚀刻槽(1)的左、右侧表面均开有第一圆形通孔(13)，所述蚀刻槽(1)的右侧表面开有第二圆形通孔(14)；所述蚀刻槽(1)的左侧外表面设有蚀刻液槽(15)，所述蚀刻槽(1)的右侧表面设有集废液槽(16)，所述蚀刻液槽(15)和集废液槽(16)的内壁均安装有固定支架(19)；所述蚀刻槽(1)的左侧表面顶端边缘处固定有连接横梁(17)，所述连接横梁(17)的表面贯穿固定有蜗杆(18)；所述喷淋装置(2)包括喷淋管(21)，所述喷淋管(21)的表面开有均匀密集分布的出液孔，两根所述喷淋管(21)贯穿固定于蚀刻槽(1)的两侧表面，所述喷淋管(21)的表面固定有蜗轮(22)，所述蜗轮(22)位于蚀刻槽(1)的左侧外部，所述蜗轮(22)与蜗杆(18)啮合；所述喷淋管(21)的左侧端处通过轴套(23)连接有进液管(24)，所述喷淋管(21)的右侧端处通过轴套(23)连接有出液管(25)；所述出液管(25)的下方安装有排废液管(26)。