[发明专利]一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法在审

专利信息
申请号: 201810276619.3 申请日: 2018-03-30
公开(公告)号: CN108422323A 公开(公告)日: 2018-08-21
发明(设计)人: 同小刚 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: B24B55/00 分类号: B24B55/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置包括:机台,具有报警系统,并针对各类异常输出报警信息;机台主系统,与机台电讯号连接,并接收来自报警系统的报警信息;报警恢复系统,与机台主系统电讯号连接,用以接收来自机台主系统所传输的报警信息,并对报警信息进行分类,进而根据所属分类发出报警操作指令,以反馈至机台主系统,最终通过机台进行指令操作。本发明对于机台可自动恢复的报警信息,促发所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置对腔体内的制品实现自动传送,输出机台,便最大可能的避免由于机台报警未及时有效处理造成产品报废的风险。
搜索关键词: 机台 报警 报警信息 研磨机台 主系统 报废 电讯号连接 报警系统 报警操作 产品报废 恢复系统 输出报警 有效处理 指令操作 自动传送 自动恢复 最大可能 分类 传输 体内 指令 反馈 输出
【主权项】:
1.一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置,其特征在于,所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置,包括:机台,具有报警系统,所述报警系统针对各类异常输出报警信息;机台主系统,与所述机台电讯号连接,并接收来自所述机台之报警系统的报警信息;以及,报警恢复系统,与所述机台主系统电讯号连接,用以接收来自机台主系统所传输的报警信息,并对所述报警信息进行分类,进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令,以反馈至机台主系统,最终通过机台进行指令操作。
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