[发明专利]一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法

摘要

本发明公开了一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法，包括箱体、气体通道组件、喷头阵列组件。本发明将喷头阵列组件和气体通道组件在箱体内交错排列，其位置和数量可以根据实际封装层数的需要进行调整。喷头阵列组件与有机墨液腔相连，下面通过两块平行的带电平板对雾化墨液进行平面聚焦，可以实现有机薄膜的制取；通过向前驱体通道交替输入前驱气体和惰性气体，可以实现无机薄膜的制备。本发明将ALD和电喷印有机结合，克服传统的单一OLED封装技术的缺点，可以高效地同时进行多层有机‑无机薄膜的制备，能够大大提高封装效率和降低封装成本，在柔性OLED封装领域具有潜在的应用前景。

主权项

1.一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，包括：箱体、气体通道组件和喷头阵列组件；气体通道组件和喷头阵列组件按照预设工艺顺序及方向布置于箱体中；气体通道组件用于无机膜的制备，包括一个前驱气体通道层、两个废气通道层和两个惰性气体通道层，前驱气体通道层位于两个废气通道层之间，两个惰性气体通道层分别位于两个废弃通道层的外侧；前驱气体通道层用于通入所需沉积无机膜的相应气体，废气通道层用于废气的排出，惰性气体通道层用于清除多余的前驱气体；喷头阵列组件设于气体通道组件前方，包括喷头组、平面电极板阵列、供墨腔；喷头组包括多个并排布置的喷头，喷头入口连接墨腔。