[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂在审
| 申请号： | 201810296660.7 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN108504289A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 金炳生;高小云;刘兵 | 申请（专利权）人： | 苏州晶瑞化学股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/16 | 分类号： | C09G1/16;C30B33/10 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 李思睿 |
| 地址： | 215168 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，包括如下组分及其质量百分比：分散剂0.1％‑1％、碱性物质0.1％‑1％、润湿剂0.005％‑0.1％、鳌合剂0.05％‑0.5％、抗再沉淀剂0.1％‑1％、余量为去离子水，各物质混合后搅拌即得成品。本发明产品在多晶硅片制绒抛光过程中能调节碱与硅的反应，去除多晶硅片表面油污和损伤层，形成硅片微凸起结构，不仅具有良好的渗透作用，而且还具有乳化、抑泡、无浊点等功能；且生产工艺简单，原料廉价易得，不含对环境有害物质，是一种绿色环保产品。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅片 制绒 抛光 调控剂 线切割 环境有害物质 绿色环保产品 抗再沉淀剂 微凸起结构 质量百分比 表面油污 碱性物质 抛光过程 去离子水 渗透作用 物质混合 分散剂 润湿剂 损伤层 鳌合剂 硅片 乳化 抑泡 浊点 生产工艺 去除 | ||
【主权项】：
1.一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，包括如下组分及其质量百分比：分散剂0.1％‑1％、碱性物质0.1％‑1％、润湿剂0.005％‑0.1％、鳌合剂0.05％‑0.5％、抗再沉淀剂0.1％‑1％、余量为去离子水。
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