[发明专利]扫描曝光装置

摘要

本发明提供一种扫描曝光装置，其使在从中心线以规定的半径弯曲成圆筒状的外周面上形成有电子设备用的图案的圆筒光罩绕中心线旋转，使被支承为圆筒状或平面状的基板以对应于圆筒光罩的旋转速度的速度移动，由此将圆筒光罩的图案曝光至基板，其具有在曝光装置主体可旋转地支承向圆筒光罩的中心线延伸的方向上的两侧突出的转轴、并且在改变圆筒光罩的中心线与基板的距离的Z方向上能够相对于曝光装置主体移动圆筒光罩的支承机构，支承机构包括：可旋转地支承转轴的可动体；以改变可动体相对于曝光装置主体在Z方向上的位置的方式在Z方向上驱动可动体的驱动源；及用于利用曝光装置主体支承圆筒光罩的自重的大部分来减轻驱动源的负荷的弹性支承构件。

主权项

1.一种扫描曝光装置，其使在从中心线以规定的半径弯曲成圆筒状的外周面上形成有电子设备用的图案的圆筒光罩绕所述中心线旋转，并使被支承为圆筒状或平面状的基板以对应于所述圆筒光罩的旋转速度的速度移动，由此，将所述圆筒光罩的图案曝光至所述基板，所述扫描曝光装置的特征在于，具有支承机构，其在曝光装置主体上可旋转地支承向所述圆筒光罩的所述中心线延伸的方向上的两侧突出的转轴，并且在改变所述圆筒光罩的所述中心线与所述基板之间的距离的Z方向上能够相对于所述曝光装置主体移动所述圆筒光罩，所述支承机构包括：可旋转地支承所述转轴的可动体；以改变所述可动体相对于所述曝光装置主体在所述Z方向上的位置的方式在Z方向上驱动所述可动体的驱动源；以及用于利用所述曝光装置主体支承所述圆筒光罩的自重的大部分来减轻所述驱动源的负荷的弹性支承构件。