[发明专利]定位销机构、基板传输装置及基板传输方法有效
申请号: | 201810313102.7 | 申请日: | 2018-04-09 |
公开(公告)号: | CN108557472B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 刘猛猛 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;程晓 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种定位销机构、基板传输装置及基板传输方法。本发明的定位销机构包括定位销及带动定位销进行移动的气缸,所述气缸包括倾斜设置的缸体及伸缩设置于所述缸体内的活塞杆,从而所述定位销可以在气缸带动下同时在水平方向和竖直方向发生位移,能够降低设计成本,并可有效避免基板定位过程中因定位销磨耗刮蹭基板所造成的品质异常。 | ||
搜索关键词: | 定位 机构 传输 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种定位销机构,其特征在于,包括定位销(20)及带动定位销(20)进行移动的气缸(10);所述气缸(10)包括倾斜设置的缸体(11)及伸缩设置于所述缸体(11)内的活塞杆(12),所述活塞杆(12)随所述缸体(11)倾斜设置;所述定位销(20)包括竖直杆(21);所述竖直杆(21)竖直设置,所述竖直杆(21)顶端设有定位接触块(23),所述竖直杆(21)随所述活塞杆(12)相对于水平面倾斜地伸缩移动,从而所述定位销(20)在气缸(10)带动下同时在水平方向和竖直方向发生位移。
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