[发明专利]一种集成电路封测用自动识别圆片盒

摘要

本发明公开了一种集成电路封测用自动识别圆片盒，所述圆片盒由顶板、底板、左右侧板及后盖板构成立方体结构，左右侧板上加工有圆片槽，圆片盒的前面是开放的，左侧板和右侧板内壁上加工有圆片槽，底板下方加工有三个V型定位机构；所述圆片盒的底板和侧板上安装有推杆式自动落锁结构；所述圆片盒的左右侧板和后盖板上分别安装有三个有槽卡式档条；所述圆片盒的顶板上安装有自动识别矩阵。本发明能够避免人工手动对晶圆洁净度的影响，同时降低圆片盒中相邻两片晶圆能够在操作过程中碰擦到的可能，减少报废率，同时实现由机械手臂来完成搬运上料等一系列的动作，减少人力，提高工作效率，提高自动化程度，从而从根本上提高企业的效益。

主权项

1.一种集成电路封测用自动识别圆片盒，其特征在于：所述圆片盒由顶板、底板、左右侧板及后盖板构成立方体结构，左右侧板上加工有圆片槽，圆片盒的前面是开放的；圆片盒的底板和侧板上安装有推杆式自动落锁结构，所述推杆式自动落锁结构包括定位固定块、定位推杆、自动落锁以及自动锁固定块；所述定位固定块安装在圆片盒的底板上，通过螺栓与底板的底面固定；所述定位推杆的一端与定位固定块连接，另一端处于自动落锁的下方；所述自动落锁镶嵌在圆片盒的侧板中间，与圆片盒的侧板紧密连接；所述自动锁固定块挡住自动落锁，两端通过螺栓与圆片盒的侧板固定；所述自动落锁包括锁条、锁片、上锁头和下锁头，所述锁条纵向布置在圆片盒的侧板与自动锁固定块之间，所述锁片上从上至下连接在锁条的表面，所述锁片的间距等于圆片盒侧板上的晶圆进出通道的宽度，所述上锁头连接在锁条的上端，所述上端头的宽度大于自动锁固定块的宽度，所述下锁头连接在锁条的下端，与定位推杆分离或接触；圆片盒的左右侧板和后盖板上分别安装有三个有槽卡式档条；所述有槽卡式档条包括挡条主体和安装体，所述安装体上加工有至少两个固定用通孔，通过螺栓与左侧板、右侧板或后盖板连接固定；所述挡条主体上连接有挡柱，所述挡柱的数量为圆片盒侧板上的圆片槽的数量加一，所述挡柱与挡柱之间开设有平行的槽口，槽口的数量与圆片盒侧板上的圆片槽的数量相等，各槽口的底边与各圆片槽的底边对应平齐，槽口的宽度与待放置的圆片的宽度相等；各槽口的底部加工有限位圆弧，三个有槽卡式档条上的限位圆弧与待放置的圆片同圆心，且限位圆弧的弧度与待放置的圆片的弧度重合；圆片盒的顶板上安装有自动识别矩阵，所述自动识别矩阵包括上方识别与抓取板、下方安装板以及连接柱；所述下方安装板为正方形，其上开设有多个安装孔，通过螺栓固定在圆片盒的顶板上方的中心位置；所述连接柱的两端分别与上方识别与抓取板、下方安装板的中心连接；所述上方识别与抓取板为正方形，所述上方识别与抓取板的一角处设有一个自动识别孔，所述上方识别与抓取板的四条边的中点处分别设有四个圆形的机械臂抓取孔，所述四个机械臂抓取孔的圆心与最接近的上方识别与抓取板的四条边的垂直距离分别相等。