[发明专利]一种易剥离载体箔及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 201810346597.3 申请日: 2018-04-17
公开(公告)号: CN108541144A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 崔成强;陈涛;张昱;曾宪;陈新 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H05K3/02 分类号: H05K3/02
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;唐京桥
地址: 510060 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种易剥离载体箔及其制备方法和应用。本发明提供了一种易剥离载体箔,包括:经粗糙化处理的载体箔和石墨类材料,所述石墨类材料附着在所述经粗糙化处理的载体箔的表面。本发明还公开了一种易剥离载体箔的制备方法及本易剥离载体箔在制备超薄铜箔中的应用。该发明解决现有的剥离层在高温下容易使得载体箔的剥离强度不稳定,产生载体箔层与超薄铜箔层部分剥离或完全不能剥离的技术缺陷。
搜索关键词: 载体箔 易剥离 制备方法和应用 粗糙化处理 石墨类材料 剥离 制备 半导体技术领域 超薄铜箔层 超薄铜箔 技术缺陷 载体箔层 剥离层 附着 应用
【主权项】:
1.一种易剥离载体箔,其特征在于,包括:经粗糙化处理的载体箔和石墨类材料,所述石墨类材料附着在所述经粗糙化处理的载体箔的粗糙面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学,未经广东工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810346597.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top