[发明专利]泄漏检测方法、以及非暂时性的计算机可读取记录介质有效
| 申请号： | 201810348533.7 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108723976B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 作川卓;高桥信行;丸山徹 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/00;F17D5/02;F17D3/18;F17D3/01;B24B37/10;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无需从研磨装置拆卸研磨头，就可检测供给至研磨头的压缩气体泄漏的泄漏检测方法。本发明的泄漏检测方法是在使研磨头(30)的隔膜(34)接触于静止面的状态下，向通过隔膜(34)形成的压力室(C1)内供给压缩气体，在向压力室(C1)内供给压缩气体期间，一边用压力调节器R1调节压力室(C1)内的压缩气体的压力，一边测定压缩气体的流量，并测定压力室(C1)内的压缩气体的压力，决定压缩气体的压力变动在允许变动幅度内时所测定的压缩气体的流量是否在基准范围内，当流量在基准范围之外时生成泄漏检测信号。 | ||
| 搜索关键词： | 泄漏 检测 方法 以及 暂时性 计算机 读取 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种泄漏检测方法，其特征在于：在使研磨头的隔膜接触于静止面的状态下，向通过所述隔膜形成的压力室内供给压缩气体，在向所述压力室内供给所述压缩气体期间，一边用压力调节器调节所述压力室内的所述压缩气体的压力，一边测定所述压缩气体的流量，测定所述压力室内的所述压缩气体的压力，决定所述压缩气体的压力变动在允许变动幅度内时所测定的所述压缩气体的流量是否在基准范围内，当所述流量在所述基准范围之外时生成泄漏检测信号。
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