[发明专利]驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法有效
| 申请号： | 201810351016.5 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108733096B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 本田博臣;金松敏裕 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G05D13/62 | 分类号： | G05D13/62;G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法，能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制。通过空气轴承使台上浮，测定通过空气轴承处于上浮的状态的台的高度来作为第一高度。将工件载置于台，在载置有工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度。计算第一高度与第二高度之差来作为下沉量，根据下沉量来计算工件的重量。根据计算出的所述工件重量来决定台的旋转驱动或者水平移动的上限速度。以使台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 控制 方法 形状 测定 | ||
【主权项】：
1.一种驱动台装置的控制方法，其特征在于，通过空气轴承使台上浮，测定通过所述空气轴承处于上浮的状态的所述台的高度来作为第一高度，将工件载置于所述台，在载置有所述工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度，计算所述第一高度与所述第二高度之差来作为下沉量，根据所述下沉量来计算所述工件的重量，根据计算出的所述工件的重量来决定所述台的旋转驱动或者水平移动的上限速度，以使所述台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。
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