[发明专利]成膜机台及成膜制程调整基板偏转量的方法

摘要

本发明提供一种成膜机台及成膜制程调整基板偏转量的方法。该成膜机台在载台(3)下方设置用于带动所述载台(3)进行转动的旋转机构(M)，当基板(9)相对于载台(3)及掩模板(5)发生偏转后，通过控制所述旋转机构(M)带动所述载台(3)及掩模板(5)做旋转调整即可便捷快速地调整基板(9)相对于载台(3)及掩模板(5)的位置，使得基板(9)相对于载台(3)及掩模板(5)无偏转，调整的过程无需升降温及打开真空腔室(1)，能够节省时间、人力与物力，提高生产效率。

主权项

1.一种成膜机台，其特征在于，包括真空腔室(1)、设于所述真空腔室(1)内的载台(3)、设于所述真空腔室(1)内并位于所述载台(3)上方的掩模板(5)、固定于所述真空腔室(1)内并位于所述掩模板(5)上方的上电极板(7)、数个沿上下方向贯穿所述载台(3)的支撑杆(4)、用于取放基板(9)的机械手臂(6)以及设于所述载台(3)下方用于带动所述载台(3)进行转动的旋转机构(M)。