[发明专利]涂敷方法有效
| 申请号： | 201810375829.8 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108722790B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 吉田省吾;小椋浩之;吉田隆一 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种向基板涂敷药液的涂敷方法，该涂敷方法包括溶剂供给工序和药液供给工序。在溶剂供给工序中，向基板(W)供给溶剂。在溶剂供给工序之后，在药液供给工序中向基板供给药液。溶剂供给工序包括第一工序。在第一工序中，使基板以第一转速旋转，使溶剂喷嘴在基板的中心部的上方的中心位置与基板的周缘部的上方的周缘位置之间移动，并且从溶剂喷嘴喷出溶剂(F)。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷方法，向基板涂敷药液，其中，包括：溶剂供给工序，向基板供给溶剂；以及药液供给工序，在所述溶剂供给工序之后，向基板供给药液，所述溶剂供给工序包括第一工序，在所述第一工序中，使基板以第一转速旋转，使溶剂喷嘴在基板的中心部的上方的中心位置与基板的周缘部的上方的周缘位置之间移动，并且从所述溶剂喷嘴喷出溶剂。
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