[发明专利]真空室装置有效
| 申请号： | 201810379176.0 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108796468B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 卢茨·戈特斯曼;格奥尔格·拉伊梅尔;延斯·梅尔歇尔 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞朋;胡彬 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种真空室装置(100)，其具有：真空室(102)，其具有第一供应通道(102v)；基板保持装置(104)，其具有用于保持和定位至少一个基板的基板保持器(110)和用于向基板保持器(110)供应至少一种供应介质的真空密封的供应壳体(108)，其中供应壳体(108)具有第二供应通道(108v)；支承装置(106)，基板固定装置(104)借助于该支承装置被可移动地支撑在真空室(102)内；以及供应软管(112)，其将第一供应通道(102v)连通至第二供应通道(108v)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空室装置(100)，包括：真空室(102)，其包括第一供应通道(102v)；基板保持装置(104)，其包括用于保持和定位至少一个基板的基板保持器(110)以及用于向所述基板保持器(110)供应至少一种供应介质的真空密封的供应壳体(108)，其中，所述供应壳体(108)包括第二供应通道(108v)；支承装置(106)，所述基板保持装置(104)借助于所述支承装置被可移动地支撑在所述真空室(102)内；以及供应软管(112)，其将所述第一供应通道(102v)连通到所述第二供应通道(108v)。
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