[发明专利]供电装置及包括该供电装置的基板处理装置有效
| 申请号： | 201810383774.5 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108807122B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | H·梅里克延;O·噶尔斯特延;李贞焕;安宗奂;南信祐 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所公开的发明为供电装置和包括该供电装置的基板处理装置。所述供电装置包括高频电源，其提供高频功率；等离子体源，其包括通过使用所述高频功率产生等离子体的第一天线和第二天线；以及功率分配器，其连接在所述高频电源和所述等离子体源之间，用于分配供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率。所述功率分配器包括第一可变器件，其控制供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率；以及第二可变器件，其对供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率的非线性进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 供电 装置 包括 处理 | ||
【主权项】：
1.一种供电装置，所述装置包括：高频电源，所述高频电源被配置为提供高频功率；等离子体源，所述等离子体源包括被配置为通过使用所述高频功率来产生等离子体的第一天线和第二天线；和功率分配器，所述功率分配器连接在所述高频电源和所述等离子体源之间，用于分配供应给所述第一天线和所述第二天线的高频功率，其中所述功率分配器包括：第一可变器件，所述第一可变器件被配置为控制供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率；和第二可变器件，所述第二可变器件被配置为对供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率的非线性进行补偿。
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