[发明专利]机械手用限位结构、机械手、传输腔室和半导体处理设备有效
| 申请号： | 201810393299.X | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN110416135B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 柳朋亮 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种限位结构、机械手、传输腔室和半导体处理设备。包括限位件和与限位件相对设置的接触组件，限位件上设置有缓冲部和限位部，接触组件与限位件之间产生相对运动时，接触组件能够在缓冲部上平缓移动后经限位部限位。本发明的限位结构，利用所设置的限位件和接触组件之间的运动配合关系，可以使得机械手指在直线模组上经过缓冲部的平缓移动后在被限位部所限位，以此实现机械手指与直线模组的位置固定，从而可以使得被加工工件在机械手上的相对位置能够保持不变，能够实现机械手的连贯传动，进而能够提高该被加工工件的加工良率，降低制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 限位 结构 传输 半导体 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种机械手用限位结构，其特征在于，包括：限位件，其上设有缓冲部和限位部；接触组件，与所述限位件相对设置；并且，所述接触组件与所述限位件之间产生相对运动时，所述接触组件能够在所述缓冲部上平缓移动后经所述限位部限位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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