[发明专利]OLED器件量测系统及自动定位OLED器件量测点位的方法在审
申请号: | 201810395279.6 | 申请日: | 2018-04-27 |
公开(公告)号: | CN108593264A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 韩文;马荣 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;李雯雯 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种OLED器件量测系统及自动定位OLED器件量测点位的方法。该OLED器件量测系统通过在检测器(3)外部设置与检测器(3)内的目镜相连接的目镜筒(5)及将相机(7)固定在所述目镜筒(5)上,能够使得所述相机(7)与目镜的取景对象相同,从而确保检测器(3)的中轴线与相机(7)的中轴线均垂直于OLED器件样品(9),避免OLED器件样品(9)的发光区上的待量测点(O2)与量测光斑(FA)的中心点(O3)发生偏移。该自动定位OLED器件量测点位的方法,使用上述OLED器件量测系统,能够准确地将OLED器件样品(9)的发光区上的待量测点(O2)定位到量测光斑(FA)的中心点(O3)。 | ||
搜索关键词: | 量测 量测系统 检测器 自动定位 点位 光斑 相机 发光区 量测点 目镜筒 中心点 中轴线 目镜 外部设置 偏移 取景 垂直 | ||
【主权项】:
1.一种OLED器件量测系统,其特征在于,包括:机台本体(1),所述机台本体(1)包括主控系统、受所述主控系统控制且能够自动沿X方向运动的X轴(11)、受所述主控系统控制且能够自动沿Y方向运动的Y轴(13)、受所述主控系统控制且能够自动沿Z方向运动的Z轴(15)以及一设于XY平面上能够被所述X轴(11)与Y轴(13)带动着运动的承载基板(17);于所述承载基板(17)上方固定在所述Z轴(15)上且能够发出量测光斑(FA)的检测器(3),所述检测器(3)内置有目镜;固定在所述检测器(3)外部并与所述目镜连接的目镜筒(5);以及固定在所述目镜筒(5)上的相机(7)。
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