[发明专利]一种高效能环保型酸性蚀刻液及其蚀刻方法在审
| 申请号： | 201810428233.X | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110453223A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 徐刚;蔡国军;苑举春;李瀚;罗昭斌;詹梓轩;邵家维;周选文;钟丽君 | 申请（专利权）人： | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈卫;谭映华<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 516000广东省惠州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效能环保型酸性蚀刻液，包括蚀刻液基液、酸性蚀刻液I以及酸性蚀刻液II；所述的蚀刻液基液中的氢离子的含量为0.5g/L～1.5g/L，氯离子的含量为230g/L～260g/L，铜离子的含量为120g/L～150g/L，铜离子与亚铜离子的氧化还原电位差为450～550毫伏；所述的酸性蚀刻液I中的氯酸离子的含量为80g/L～180g/L；所述的酸性蚀刻液II中的氢离子的含量为100g/L～200g/L。本发明还公开了一种高效能环保型酸性蚀刻液的蚀刻方法。本发明具有蚀刻效率高，污染小等优点，有效的提高了蚀刻效率，降低了污染，节约了生产成本，提高了线路板的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性蚀刻液 蚀刻 氢离子 高效能 环保型 蚀刻液 铜离子 基液 电位差 氯酸离子 生产效率 亚铜离子 氧化还原 线路板 氯离子 污染 生产成本 节约 | ||
【主权项】：
1.一种高效能环保型酸性蚀刻液，其特征在于，包括含有氢离子、氯离子、铜离子以及亚铜离子的蚀刻液基液、含有氯酸离子的酸性蚀刻液I以及含有氢离子的酸性蚀刻液II；所述的蚀刻液基液中的氢离子的含量为0.5g/L～1.5g/L，氯离子的含量为230g/L～260g/L，铜离子的含量为120g/L～150g/L，铜离子与亚铜离子的氧化还原电位差为450～550毫伏；所述的酸性蚀刻液I中的氯酸离子的含量为80g/L～180g/L；所述的酸性蚀刻液II中的氢离子的含量为100g/L～200g/L。/n
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