[发明专利]手套箱系统以及手套箱系统的保养方法

摘要

本申请涉及生产制造技术领域，尤其涉及一种手套箱系统及其保养方法，手套箱系统的手套箱出口与纯化器进口之间设置有第五开关阀；手套箱进口与纯化器出口之间设置有第六开关阀；缓冲槽出口与纯化器进口之间设置有第七开关阀，缓冲槽进口与纯化器出口之间设置有第八开关阀；缓冲槽出口与手套箱进口之间设置有第九开关阀，缓冲槽进口与手套箱出口之间设置有第十开关阀。本申请的手套箱内的压缩空气在达到100ppm以下循环至手套箱内的压缩空气的浓度降到10ppm以下，所需的时间会明显缩短，进而缩短手套箱保养时恢复至氮气环境所需的时间。

主权项

1.一种手套箱系统，其特征在于，包括：手套箱，所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口；缓冲槽，所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口；纯化器，所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口；第一氮气进口，所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀；第一出口，所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀；第二氮气进口，所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀；第二出口，所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀；其中，所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀；所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀；所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀，所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀；所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀，所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。