[发明专利]一种低温制备高性能ZnO基透明导电氧化物薄膜的方法有效
| 申请号： | 201810439359.7 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN108546936B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 戴英;贾倩;裴新美;陈文 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 42102 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 唐万荣;官群 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低温制备高性能ZnO基透明导电氧化物薄膜的方法，具体步骤如下：1)根据需求将二水合醋酸锌与Al源、Sn源溶解于乙二醇甲醚中，之后将稳定剂逐滴加入含锌溶液中，加热搅拌后过滤，在室温下充分陈化，得到澄清透明的溶胶待用；2)将衬底清洗干净，利用匀胶机将溶胶均匀旋涂在衬底表面，然后将衬底进行前热处理，重复旋涂和前热处理过程，直至得到凝胶膜；3)将凝胶膜在空气气氛下进行第一步退火处理，然后在氮气或氩气气氛下进行第二步退火处理，待其冷却至室温得到高性能ZnO基透明导电氧化物薄膜。本发明提供的制备方法工艺过程简单，且可以有效降低反应体系的晶格能，使薄膜在450℃左右提前晶化。 | ||
| 搜索关键词： | 透明导电氧化物薄膜 低温制备 凝胶膜 旋涂 氮气 二水合醋酸锌 制备方法工艺 热处理过程 乙二醇甲醚 热处理 衬底表面 衬底清洗 澄清透明 含锌溶液 加热搅拌 空气气氛 退火处理 一步退火 氩气气氛 稳定剂 匀胶机 陈化 衬底 晶格 晶化 薄膜 过滤 冷却 溶解 重复 | ||
【主权项】：
1.一种低温制备高性能ZnO基透明导电氧化物薄膜的方法，所述ZnO基透明导电氧化物薄膜化学式为Sn
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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