[发明专利]一种管靶贴合控制间隙的方法在审
| 申请号： | 201810444257.4 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108546921A | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 何建进 | 申请（专利权）人： | 苏州精美科光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种管靶贴合控制间隙的方法，包括相互贴合的背管和管靶材，所述背管为钛或不锈钢制得，所述管靶材为金属或陶瓷制得，所述管靶材外侧设置有一调节环，所述调节环包覆于管靶材及背管，所述调节环包括内环、外环和设置在两端面的密封法兰，其中一端的密封法兰上设置有调节部件，所述调节部件用于调节内环至外环的同径距离，所述内环的内侧面贴合管靶材，使用时，先通过调节部件调节内环至贴合管靶材处，锁紧调节部件，在进行加温。本发明有效的控制背管与管靶材之间的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 管靶材 贴合 背管 内环 控制间隙 密封法兰 种管 锁紧调节部件 不锈钢制 部件调节 外侧设置 陶瓷制 环包 加温 同径 侧面 金属 | ||
【主权项】：
1.一种管靶贴合控制间隙的方法，包括相互贴合的背管和管靶材，所述背管为钛或不锈钢制得，所述管靶材为金属或陶瓷制得，其特征在于，所述管靶材外侧设置有一调节环，所述调节环包覆于管靶材及背管，所述调节环包括内环、外环和设置在两端面的密封法兰，其中一端的密封法兰上设置有调节部件，所述调节部件用于调节内环至外环的同径距离，所述内环的内侧面贴合管靶材，使用时，先通过调节部件调节内环至贴合管靶材处，锁紧调节部件，在进行加温。
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