[发明专利]一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机

摘要

本发明公开了一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，包括横向设置的载具输送机构；至少一载具，设置在载具输送机构两端的上方，并与载具输送机构驱动连接；升降机构，设置在输送装置的下方；风刀机构，设置在载具输送机构的上方；硅片搬运机构，纵向设置在输送机构的上方，位于风刀机构的旁侧；上料输送机构，设置在输送装置的后侧；横向传输机构，横向并排设有若干个；第一称重单元，设置在上料输送机构和横向传输机构之间；称重机械手，设有伯努利吸盘；纵向传输机构，对应设置在横向传输机构的后侧；第二称重单元，设置在纵向传输机构的后侧；本发明运输效率高、精度好，并且具有称重功能，保证产品的良品率。

主权项

1.一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：包括横向设置的载具输送机构；至少一载具，用于装载硅片，设置在载具输送机构两端的上方，并与载具输送机构驱动连接，以实现在载具输送机构的驱动下沿横向方向往复移动；升降机构，设置在输送装置的下方，并能驱动载具内的硅片沿竖直方向升降，以实现载具内最顶端的硅片保持在固定的水平面上；风刀机构，设置在载具输送机构的上方，能发出规律的气流，以实现将位于最顶端的硅片吹起，与底下的硅片分离；硅片搬运机构，纵向设置在输送机构的上方，位于风刀机构的旁侧，以实现将载具内最顶端的硅片沿纵向方向运送；上料输送机构，设置在输送装置的后侧，用于将硅片搬运机构中沿横向方向输送，流入下一个工位处；横向传输机构，横向并排设有若干个，用于接收从上料输送机构处流出的硅片，并将硅片横向排列好；第一称重单元，设置在上料输送机构和横向传输机构之间，用于检测硅片进入横向传输机构前的重量；称重机械手，设有伯努利吸盘，用于将在上料输送机构中和第一称重单元之间传递硅片；纵向传输机构，对应设置在横向传输机构的后侧，用于将横向传输机构上的硅片往纵向方向输送；第二称重单元，设置在纵向传输机构的后侧，用于称量从纵向传输机构流入的硅片的重量。