[发明专利]微型电阻检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201810457783.4 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN109324229B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡宜兴 | 申请（专利权）人： | 蔡宜兴 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 中国台湾高雄市80*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微型电阻检测装置及检测方法，该检测装置包含一基座、一机械手臂、一检测座、一驱动机构、一探针座组及多个显微影像装置。该机械手臂装设于该基座上。该检测座连接该机械手臂，并可受该机械手臂驱动产生位移。该探针座组装设于该检测座底部，并包括两相对设置的探针座及设在该两探针座上的一对探针，至少一探针座连接该驱动机构，并受该驱动机构控制而改变该两探针座之间距。该多个显微影像装置用以辨识一待测的微型电阻载板的微型电阻的相对位置及印刷偏移角度，使该机械手臂据以调整该对探针的检测位置。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 电阻 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微型电阻检测装置，包含：一基座；一机械手臂，装设于该基座上；一检测座，连接该机械手臂，并可受该机械手臂驱动产生位移；一驱动机构，装设于该检测座底部；一探针座组，装设于该检测座底部，并包括两相对设置的探针座及一对探针，其中至少一探针座连接该驱动机构，并受该驱动机构控制进行直线运动而改变该两探针座之间距；该对探针分别设在该两探针座上而彼此相对；以及多个显微影像装置，用以辨识一待测的微型电阻载板上的微型电阻的相对位置及印刷偏移角度，使该机械手臂据以调整该对探针的检测位置。
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