[发明专利]一种湿式制程设备动态蚀刻药液均匀化装置

摘要

一种湿式制程设备动态蚀刻药液均匀化装置，包括化学槽箱体，化学槽箱体为矩形槽腔体，箱体内腔上部设有固定安装的喷淋管，喷淋管底部设有均匀直线分布的喷嘴，箱体内腔底部设有滚动辊，滚动辊水平且与喷淋管空间上垂直，滚动辊上放置基板，所述喷淋管的下方，基板的上方设有网板，网板上设有均匀分布的贯通网槽，滚动辊的两侧端部设有齿轮传动轴，网板底部与齿轮传动轴联动。网板上有排列均匀的网槽，喷淋管上喷嘴喷出的药液经网槽均匀蚀刻基板上的产品，通过改变实际制程过程中网板的网槽大小和排列情况，实现化学槽箱体内流场更稳定均匀，在制程进行时，网板与滚动辊的齿轮传动轴联动发生小幅度的摆动，进一步确保流场的均匀性。

主权项

1.一种湿式制程设备动态蚀刻药液均匀化装置，包括化学槽箱体(1)，化学槽箱体(1)为矩形槽腔体，箱体(1)内腔上部设有固定安装的喷淋管(2)，喷淋管(2)底部设有均匀直线分布的喷嘴(3)，箱体(1)内腔底部设有滚动辊(4)，滚动辊(4)水平且与喷淋管(2)空间上垂直，滚动辊(4)上放置基板(5)，其特征是，所述喷淋管(2)的下方，基板(5)的上方设有网板(6)，网板(6)上设有均匀分布的贯通网槽(7)，滚动辊(4)的两侧端部设有齿轮传动轴(8)，网板(6)底部与齿轮传动轴(8)联动。