[发明专利]利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法

摘要

本发明公开一种利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，该方法包括下述步骤：1、双氧水溶液浸泡：采用双氧水溶液对工件进行浸泡处理，双氧水溶液为H₂O₂：H₂O=35：65，浸泡温度为50℃，反应时间为3‑5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜位置；2、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；3、中和反应：采用硝氟酸进行中和反应，硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，HNO₃：HF=20：1，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10‑30S；4、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；5、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。

主权项

1.一种利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：（1）、双氧水溶液浸泡：采用双氧水溶液对工件进行浸泡处理，双氧水溶液为H2O2：H2O=（32~38）：（62~68），浸泡温度为45℃~55℃，反应时间为3‑5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜位置；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、中和反应：采用硝氟酸进行中和反应，硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10‑30S；（4）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（5）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。