[发明专利]一种干刻下部电极表面涂层加工方法及其专用加工刀具有效
| 申请号： | 201810472927.3 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108655475B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 宋微;李亚军;黄艳芳 | 申请（专利权）人： | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/00 | 分类号： | B23C3/00;B23C5/10 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 朱圣荣 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种干刻下部电极表面涂层加工方法，干刻下部电极的上表面和侧面使用刀具进行铣削加工，干刻下部电极的上表面铣削加工时，首先使用立铣刀在面铣削边界一圈进行铣削，再使用面铣刀加工整体表面。本发明改进后的工艺能够大大减少崩角、崩边、成片脱落等现象，降低了人力和时间等成本，提高了成品率，产品表面粗糙度在产品需求以内，符合客户的表面粗糙度使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻下 电极 表面 涂层 加工 方法 及其 专用 刀具 | ||
【主权项】：
1.一种干刻下部电极表面涂层加工方法，干刻下部电极的上表面和侧面使用刀具进行铣削加工，其特征在于：干刻下部电极的上表面铣削加工时，首先使用立铣刀在面铣削边界一圈进行铣削，再使用面铣刀加工整体表面。
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