[发明专利]监视装置、监视方法和计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 201810473208.3 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108977790B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 山田实;千住直辉 | 申请（专利权）人： | 日立造船株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 鹿屹;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供监视装置、监视方法和计算机可读存储介质。所述监视装置(1)包括：拍摄部(11)，将炉膛内衬(24)作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择部(16)，从拍摄部拍摄的多个图像之中，选择与基准图像最相关的图像作为分析对象图像；以及状态判定部(17)，通过分析图像选择部选择的分析对象图像，来判定蒸镀装置(2)的状态。利用这种结构，可以高精度地判定蒸镀装置的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 监视 装置 方法 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种监视装置，进行蒸镀装置的监视，所述蒸镀装置通过将蒸镀材料蒸镀于基板而对所述基板进行成膜，所述监视装置的特征在于，包括：拍摄部，将所述蒸镀装置所具备的用于保持所述蒸镀材料的容器作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择部，从所述拍摄部拍摄的多个图像之中，选择出与基准图像最相关的图像作为分析对象图像，所述基准图像为显现出所述容器的图像；以及状态判定部，通过分析所述图像选择部选择的分析对象图像，来判定所述蒸镀装置的状态。
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