[发明专利]靶材组件有效
| 申请号： | 201810476911.X | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108486535B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;余贵阳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴迪 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种靶材组件，属于机械加工领域。所述靶材组件包括：靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封，从而在靶材与托盘之间放置垫圈，使得托盘与靶材之间形成密封，因此，避免了靶材与托盘之间的摩擦而造成靶材划伤及磕伤的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件，其特征在于，所述靶材组件包括：靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810476911.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
