[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体在审
| 申请号： | 201810478898.1 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108768338A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 山田明法 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;H03H9/10;H03H9/215;H03B5/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)具有石英基板(3)，该石英基板(3)具有：基部(4)；从基部(4)起延伸的一对振动臂(5、6)；以及支承臂(71)，其在振动臂(5、6)之间，在与振动臂(5、6)相同的一侧从基部(4)起延伸。并且，振动臂(5)具有臂部(51)和设置在臂部(51)前端的锤头(59)。臂部(51)具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 振动元件 振动臂 电子设备 移动体 振荡器 臂部 基部 振子 石英基板 传感器 主面 长度方向垂直 振动特性 槽排列 低功耗 支承臂 延伸 锤头 堤部 敞开 | ||
【主权项】：
1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：基部；一对振动臂，它们在俯视时从所述基部起沿着第1方向延伸，沿着与所述第1方向垂直的第2方向排列；以及支承臂，其从所述基部起沿着所述第1方向延伸，配置在所述一对振动臂之间，所述振动臂包含：一对主面，它们沿着所述第1方向和所述第2方向，彼此处于正反关系；一对侧面，它们沿着所述第1方向，连结所述一对主面；以及有底的槽，其沿着所述第1方向设置在各个所述主面上，具有沿着与各所述主面垂直的厚度方向的深度，与所述一对侧面中的一方连结、在俯视时在所述振动臂的所述主面上沿着所述第2方向与所述槽排列的部分为第1堤部，与所述一对侧面中的另一方连结、在俯视时在所述振动臂的所述主面上沿着所述第2方向与所述槽排列的部分为第2堤部，所述第1堤部和所述第2堤部的沿着所述第2方向的宽度为6μm以下，所述支承臂包含：安装于封装上的固定部；以及中间变细部，其在俯视时配置在所述固定部与所述基部之间，沿着所述第2方向的宽度比所述固定部小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810478898.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种巴伦及功率放大器
- 下一篇：振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体
