[发明专利]一种触发式对位结构的直写式曝光系统及方法有效
| 申请号： | 201810480510.1 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108710266B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈海巍 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 221000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种触发式对位结构的直写式曝光系统及方法，属于印刷线路板技术领域。所述系统包括：监测装置、位置获取装置和计算装置。本发明通过将待曝光样品的实时位置信息输入至位置获取装置，以便在待曝光样品运动至预定位置时触发位置获取装置通过获取所述待曝光样品上的对位标记的位置，并同时记录所述待曝光样品的位置，根据该待曝光样品的位置直接计算对位标记在曝光坐标系中的位置，以便根据计算出的对位标记在曝光坐标系中的位置进行曝光，解决了在对位过程中运动平台需要多次启动与停止从而导致的对位时间长和对位精度达不到要求的问题，应用在双面台系统中时，减少了对位时间，提高了对位精度并达到最大的生产稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触发 对位 结构 直写式 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
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