[发明专利]基板搬送机构、基板载置机构、成膜装置及其方法有效
| 申请号： | 201810485118.6 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108677158B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 石井博 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李鹏宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为基板搬送机构、基板载置机构、成膜装置及其方法。提供可在基板的搬送、载置中降低基板挠曲的影响的技术。在基板搬送机构中，对基板的下面进行支撑的第1支撑部从比多个第2支撑部高的位置在多个第2支撑部之间通过后向比第2支撑部低的位置相对移动，从而成为第2支撑部对基板的下面进行支撑的状态，由按压部按压由第2支撑部支撑的基板的上面，使基板被第2支撑部与按压部夹持，在成为基板的下面被第2支撑部支撑的状态开始到按压部对基板的上面进行按压为止的期间，使第1支撑部位于多个第2支撑部之间，在按压部对基板的上面进行按压之后，使第1支撑部向比第2支撑部低的位置相对移动。 | ||
| 搜索关键词： | 基板搬送 机构 基板载置 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板搬送机构，所述基板搬送机构以使对基板的下面进行支撑的第1支撑部位于多个第2支撑部之间的方式使所述第1支撑部及所述第2支撑部相对移动，从而，成为所述第2支撑部对所述基板的下面进行支撑的状态，由按压部对支撑于所述第2支撑部的所述基板的上面进行按压，将所述基板由所述第2支撑部与所述按压部进行夹持，所述基板搬送机构的特征在于：对所述第1支撑部、所述第2支撑部与所述按压部的相对位置进行控制的控制部，在成为所述第2支撑部对所述下面进行支撑的状态开始到所述按压部对所述上面进行按压为止的期间，使所述第1支撑部位于多个所述第2支撑部之间，在所述按压部对所述上面进行按压之后，进行使所述第1支撑部从所述下面离开的控制。
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