[发明专利]一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在审
| 申请号： | 201810494016.0 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108531982A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 曾国伟;乔晓东 | 申请（专利权）人： | 嘉兴耐进新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 周兵 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，包括盖板本体，盖板本体中开设有进气孔，盖板本体下方装设有气流挡板，该气流挡板的位置与进气孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。该用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在进气孔周围开设挂孔，然后通过碳/碳悬挂螺杆在下面悬挂气流挡板，并在气流挡板中心开设测温孔，进气管出来的气流直接吹在气流挡板上，并向四周分散，由于气流反弹面的上升，将有利于减少涡流的产生，使得多晶硅铸锭表面的杂质减少，有利于提升产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 气流挡板 多晶硅铸锭 盖板本体 盖板 坩埚 进气孔 涡流 进气孔位置 悬挂螺杆 测温孔 进气管 挂孔 排出 装设 供气 反弹 悬挂 | ||
【主权项】：
1.一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，其特征在于：包括盖板本体，盖板本体中开设有进气孔，盖板本体下方装设有气流挡板，该气流挡板的位置与进气孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。
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