[发明专利]限位连接组件及抛光机在审
| 申请号： | 201810501452.6 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108568747A | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;宋召东 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 戈丰 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种限位连接组件及抛光机，涉及半导体工艺设备技术领域。该限位连接组件可以包括连接件以及用于限定半导体晶片位置的限位件。连接件、限位件中的其中一个设置有卡接部，连接件、限位件中的另一个设置有与卡接部相匹配的卡槽，连接件与限位件通过卡接部、卡槽固定连接。本方案中的限位连接组件及抛光机结构简单、实用，通过卡接部与卡槽相匹配，实现连接件及限位件的固定连接，有助于提高连接件与限位件连接的牢固度，从而有利于避免连接件与限位件因连接不稳而脱落的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 连接件 限位件 限位连接 卡接部 抛光机 匹配 半导体工艺设备 半导体晶片 抛光机结构 卡槽固定 牢固度 卡槽 | ||
【主权项】：
1.一种限位连接组件，其特征在于，包括：连接件，以及用于限定半导体晶片位置的限位件，所述连接件、所述限位件中的其中一个设置有卡接部，所述连接件、所述限位件中的另一个设置有与所述卡接部相匹配的卡槽，所述连接件与所述限位件通过所述卡接部、所述卡槽固定连接。
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