[发明专利]模块化集成电路芯片背胶膜自动清理机在审

专利信息
申请号: 201810506294.3 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN108493141A 公开(公告)日: 2018-09-04
发明(设计)人: 周彩根;徐来;孙琳;张涌;吴嘉宝;刘中华;陈维燕;丁建峰;刘丹 申请(专利权)人: 常州信息职业技术学院
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338 代理人: 徐琳淞
地址: 213164 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种模块化集成电路芯片背胶膜自动清理机,机架的顶部设有横梁,中部设有研磨导轨;研磨机构在机架的横梁上等距安装有多个;研磨机构包括往复驱动装置、滑块、压力传感器和弓形研磨组件;往复驱动装置固定在横梁上;滑块与研磨导轨滑动连接;往复驱动装置驱动滑块在研磨导轨上往复滑动;压力传感器的顶部与滑块固定连接,压力传感器的底部与弓形研磨组件固定连接;弓形研磨组件设置在集成电路芯片上方;芯片固定机构设置在机架的内底部,集成电路芯片固定放置在芯片固定机构上。本发明的研磨机构模块化,可在机架的横梁上等距安装,实现了模块化组合安装,有利于形成流水生产线。
搜索关键词: 横梁 往复驱动装置 压力传感器 弓形 研磨机构 研磨组件 研磨 导轨 滑块 模块化集成电路 集成电路芯片 自动清理机 等距安装 芯片固定 背胶膜 芯片 流水生产线 模块化组合 固定放置 滑动连接 机构设置 驱动滑块 往复滑动 模块化
【主权项】:
1.模块化集成电路芯片背胶膜自动清理机,其特征在于:包括机架(1)、研磨机构(2)和芯片固定机构(3);所述机架(1)的顶部设有横梁(1‑1),中部设有研磨导轨(1‑2);所述研磨机构(2)在机架(1)的横梁(1‑1)上等距安装有多个;所述研磨机构(2)包括往复驱动装置(2‑1)、滑块(2‑2)、压力传感器(2‑3)和弓形研磨组件(2‑4);所述往复驱动装置(2‑1)固定在横梁(1‑1)上;所述滑块(2‑2)与研磨导轨(1‑2)滑动连接;所述往复驱动装置(2‑1)驱动滑块(2‑2)在研磨导轨(1‑2)上往复滑动;所述压力传感器(2‑3)的顶部与滑块(2‑2)固定连接,压力传感器(2‑3)的底部与弓形研磨组件(2‑4)固定连接;所述弓形研磨组件(2‑4)设置在集成电路芯片(4)上方;所述芯片固定机构(3)设置在机架(1)的内底部,集成电路芯片(4)固定放置在芯片固定机构(3)上。
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