[发明专利]模块化集成电路芯片背胶膜自动清理机在审
申请号: | 201810506294.3 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN108493141A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 周彩根;徐来;孙琳;张涌;吴嘉宝;刘中华;陈维燕;丁建峰;刘丹 | 申请(专利权)人: | 常州信息职业技术学院 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338 | 代理人: | 徐琳淞 |
地址: | 213164 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种模块化集成电路芯片背胶膜自动清理机,机架的顶部设有横梁,中部设有研磨导轨;研磨机构在机架的横梁上等距安装有多个;研磨机构包括往复驱动装置、滑块、压力传感器和弓形研磨组件;往复驱动装置固定在横梁上;滑块与研磨导轨滑动连接;往复驱动装置驱动滑块在研磨导轨上往复滑动;压力传感器的顶部与滑块固定连接,压力传感器的底部与弓形研磨组件固定连接;弓形研磨组件设置在集成电路芯片上方;芯片固定机构设置在机架的内底部,集成电路芯片固定放置在芯片固定机构上。本发明的研磨机构模块化,可在机架的横梁上等距安装,实现了模块化组合安装,有利于形成流水生产线。 | ||
搜索关键词: | 横梁 往复驱动装置 压力传感器 弓形 研磨机构 研磨组件 研磨 导轨 滑块 模块化集成电路 集成电路芯片 自动清理机 等距安装 芯片固定 背胶膜 芯片 流水生产线 模块化组合 固定放置 滑动连接 机构设置 驱动滑块 往复滑动 模块化 | ||
【主权项】:
1.模块化集成电路芯片背胶膜自动清理机,其特征在于:包括机架(1)、研磨机构(2)和芯片固定机构(3);所述机架(1)的顶部设有横梁(1‑1),中部设有研磨导轨(1‑2);所述研磨机构(2)在机架(1)的横梁(1‑1)上等距安装有多个;所述研磨机构(2)包括往复驱动装置(2‑1)、滑块(2‑2)、压力传感器(2‑3)和弓形研磨组件(2‑4);所述往复驱动装置(2‑1)固定在横梁(1‑1)上;所述滑块(2‑2)与研磨导轨(1‑2)滑动连接;所述往复驱动装置(2‑1)驱动滑块(2‑2)在研磨导轨(1‑2)上往复滑动;所述压力传感器(2‑3)的顶部与滑块(2‑2)固定连接,压力传感器(2‑3)的底部与弓形研磨组件(2‑4)固定连接;所述弓形研磨组件(2‑4)设置在集成电路芯片(4)上方;所述芯片固定机构(3)设置在机架(1)的内底部,集成电路芯片(4)固定放置在芯片固定机构(3)上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造