[发明专利]一种芯片清洗系统及方法在审
| 申请号： | 201810509453.5 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108580395A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 魏垚 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/14;C02F9/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 辛姗姗 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种芯片清洗系统及方法。所述芯片清洗系统包括芯片清洗机构和废液净化机构，所述废液净化机构的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通。基于废液净化机构的设置，使得芯片清洗系统具有净化废水的功能，能够立即对芯片清洗机构产生的废水进行净化处理，相比于背景技术，使用本发明实施例提供的芯片清洗系统净化废水能够缩短废水净化时间，提高废水净化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片清洗 废液净化 废水 废水净化 净化处理 系统净化 进液口 排液口 连通 净化 | ||
【主权项】：
1.一种芯片清洗系统，其特征在于，包括芯片清洗机构和废液净化机构；所述废液净化机构的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通。
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