[发明专利]表面性状测量装置

摘要

提供一种表面性状测量装置，其中，更换测量器容易且安全。能够通过将测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器来更换测量器。测量器包括支架，并且支架包括用于将信号传送到测量器和从测量器接收信号以及对测量器给电的第一连接器。驱动机构部包括支撑框架，支架可拆卸地安装到支撑框架，并且支撑框架包括电连接到第一连接器的第二连接器。在第一连接器与第二连接器连接的状态下，信号在第一连接器与第二连接器之间传送和接收，第二连接器对第一连接器给电。第一连接器和第二连接器能够热插拔。即，当测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器时，测量器和驱动机构部能够在通电的情况下被插入和移除。

主权项

1.一种表面性状测量装置，其包括：测量器，其被构造成通过与测量对象物的表面接触或不接触进行扫描测量；以及测量机主体部，其包括使所述测量器相对于所述测量对象物移动的驱动机构部，所述测量器被设置为能够通过将所述测量器安装到所述驱动机构部和从所述驱动机构部拆卸所述测量器而被更换，其中，所述测量器包括用于将所述测量器安装到所述驱动机构部的支架，所述支架包括第一连接器，所述第一连接器用于将信号传送到所述测量器和从所述测量器接收信号以及对所述测量器给电，所述驱动机构部包括支撑框架，所述支架可拆卸地安装到所述支撑框架，所述支撑框架包括电连接到所述第一连接器的第二连接器，在所述第一连接器与所述第二连接器连接的状态下，所述信号在所述第一连接器与所述第二连接器之间传送和接收，所述第二连接器对所述第一连接器给电，并且当所述测量器安装到所述驱动机构部和从所述驱动机构部拆卸所述测量器时，所述第一连接器和所述第二连接器能够热插拔。