[发明专利]传送手、传送装置、光刻装置、物品的制造方法以及保持机构有效
| 申请号： | 201810511008.2 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108983553B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 松平泰尚 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于保持被传送物体的传送手，该传送手包括：基部；垫，所述垫构造成吸附被传送物体；以及第一弹性部件，所述第一弹性部件固定于所述基部并构造成支撑所述垫，其中，所述第一弹性部件包括三个或更多支撑单元，每个支撑单元构造成支撑所述垫，且所述第一弹性部件构造成使得沿竖直方向的刚性低于沿水平方向的刚性，从而使得所述垫顺从被传送物体的形状。还提供给了一种传送装置、一种光刻装置、一种物品的制造方法以及一种保持机构。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 光刻 物品 制造 方法 以及 保持 机构 | ||
【主权项】：
1.一种用于保持被传送物体的传送手，该传送手包括：基部；垫，所述垫构造成吸附被传送物体；以及第一弹性部件，所述第一弹性部件固定于所述基部并构造成支撑所述垫，其中，所述第一弹性部件包括三个或更多支撑单元，每个支撑单元构造成支撑所述垫，且所述第一弹性部件构造成使得沿竖直方向的刚性低于沿水平方向的刚性，从而使得所述垫顺从被传送物体的形状。
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