[发明专利]OPC数据收集方法及OPC数据收集装置在审
| 申请号： | 201810512463.4 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108693714A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 夏睿;李天慧;龙海凤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种OPC数据收集方法及OPC数据收集装置。所述OPC数据收集方法，包括如下步骤：提供一版图，所述版图中包括多个图形模块，每个图形模块中包括多个图形；定义一个参考点于所述版图；获取所有图形模块中的待量测图形相对于所述参考点的位置信息。本发明大大提高了待量测图形位置计算的效率，简化了OPC数据收集方式，缩短了OPC数据收集时间。 | ||
| 搜索关键词： | 图形模块 收集装置 参考点 量测 半导体制造技术 图形位置 | ||
【主权项】：
1.一种OPC数据收集方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一版图，所述版图中包括多个图形模块，每个图形模块中包括多个图形；定义一个参考点于所述版图；获取所有图形模块中的待量测图形相对于所述参考点的位置信息。
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