[发明专利]一种超声波传感器及其制作方法、显示装置有效
| 申请号： | 201810541399.2 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN108955736B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 刘利宾;杨倩 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种超声波传感器及其制作方法、显示装置，其中，超声波传感器包括：基底和至少一个设置在基底上的传感器组件；传感器组件包括：第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层；其中，基底靠近传感器组件的一侧设置有凹槽，压电层在基底上的正投影与凹槽在基底的区域存在重叠部分。本发明实施例通过基底位于压电层下方的区域设置凹槽，能够减少基底对超声波传感器在交流电信号的激励下产生的机械振动信号的吸收，保证超声波信号的质量，从而提高了超声波传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波传感器 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种超声波传感器，其特征在于，包括：基底和至少一个设置在所述基底上的传感器组件；所述传感器组件包括：第一电极、第二电极和设置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电层；其中，所述基底靠近所述传感器组件的一侧设置有凹槽，所述压电层在所述基底上的正投影与所述凹槽在基底的区域存在重叠部分。
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