[发明专利]吸盘有效
| 申请号： | 201810552852.X | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110554572B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 汤世炎;王继明 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种吸盘，所述吸盘包括吸附单元、支撑固定单元、整体冷却单元及局部冷却单元，所述吸附单元设置于所述支撑固定单元上，所述局部冷却单元与所述整体冷却单元连通，并穿过所述支撑固定单元与所述吸附单元接触。通过利用局部冷却单元将整体冷却单元中的冷却介质引导至吸附单元下表面进行冷却，提高了冷却均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 | ||
【主权项】：
1.一种吸盘，其特征在于，包括：吸附单元、支撑固定单元、整体冷却单元及局部冷却单元，所述吸附单元设置于所述支撑固定单元上，所述局部冷却单元与所述整体冷却单元连通，并穿过所述支撑固定单元与所述吸附单元接触。/n
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