[发明专利]一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法在审
| 申请号： | 201810552871.2 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108816929A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;侯宇 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B3/02;B08B1/00;C23C14/34;F26B7/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李进 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法，包括如下步骤：(A)将钽螺纹超声波处理3‑10min后，表面涂抹清洁剂；(B)再经过刷洗、吹干、真空干燥即可。本发明的清洗方法通过将超声波、刷洗、真空干燥等处理方法进行综合利用，可以对钽靶在生产制作过程中的清洗工序的操作进行更为精细的设计，除去了钽螺纹表面的脏污、油污，并能提高该靶材的后续使用性能，提高其在溅射过程中的反应速度，降低误码率，提高效率以及提高钽靶的焊接性能，因此该清洗方法虽然工艺简单，但是处理效果显著，值得广泛推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 螺纹 生产过程 钽靶材 钽靶 半成品 清洁剂 超声波处理 表面涂抹 焊接性能 螺纹表面 清洗工序 使用性能 制作过程 超声波 误码率 油污 靶材 吹干 溅射 脏污 精细 生产 | ||
【主权项】：
1.一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：(A)将钽螺纹超声波处理3‑10min后，表面涂抹清洁剂；(B)再经过刷洗、吹干、真空干燥即可。
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