[发明专利]一种箱式退火炉及其加热方法有效

专利信息
申请号: 201810566036.4 申请日: 2018-06-04
公开(公告)号: CN108707969B 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 杭州赤热工业炉科技有限公司
主分类号: C30B33/02 分类号: C30B33/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 311118 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开一种箱式退火炉,包括箱体和箱盖,所述箱体内设置有承托装置和加热装置,所述加热装置包含有加热器和电热棒,所述加热器和电热棒均与箱体内壁固定连接,所述承托装置包含有托架和盘式转轴,所述箱体下面设置有电动机,所述电动机上连有联轴器,所述联轴器上连有转动轴,所述转动轴的一端通过联轴器和电动机固定连接,所述转动轴的另一端与托架螺栓连接,所述盘式转轴两端分别与托架和箱体内壁固定连接,所述箱体两侧设置有电源和控制装置,所述电源和控制装置均与箱体螺栓连接,所述加热器、电热棒、电动机和控制装置均匀电源电性连接,所述加热器、电热棒和电动机均与控制装置电性连接;该箱式退火炉能使半导体芯片受热均匀。
搜索关键词: 一种 箱式 退火炉 及其 加热 方法
【主权项】:
1.一种箱式退火炉,其特征在于:包括箱体和箱盖,所述箱体内设置有承托装置和加热装置,所述加热装置包含有加热器和电热棒,所述加热器位于箱体内壁两侧,所述电热棒位于箱体内壁顶部,所述加热器和电热棒均与箱体内壁固定连接,所述承托装置包含有托架和盘式转轴,所述托架呈镂空状设置,所述箱体下面设置有电动机,所述电动机上连有联轴器,所述联轴器上连有转动轴,所述电动机与联轴器固定连接,所述转动轴的一端通过联轴器和电动机固定连接,所述转动轴的另一端与托架螺栓连接,所述盘式转轴位于托架下面,所述盘式转轴两端分别与托架和箱体内壁固定连接,所述箱体两侧设置有电源和控制装置,所述电源和控制装置均与箱体螺栓连接,所述加热器、电热棒、电动机和控制装置均匀电源电性连接,所述加热器、电热棒和电动机均与控制装置电性连接。
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