[发明专利]一种观察装置、蒸镀装置在审

专利信息
申请号: 201810570733.7 申请日: 2018-06-05
公开(公告)号: CN108396304A 公开(公告)日: 2018-08-14
发明(设计)人: 罗剑伟 申请(专利权)人: 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52;C23C14/24
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 周娟
地址: 100176 北京市大兴区北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开一种观察装置、蒸镀装置,涉及蒸镀技术领域。该观察装置包括框体,以及位于框体内的观察孔,框体设有与观察孔的横截面夹角可调的挡板,所述挡板的板面形成有反射层,所述反射层位于所述挡板与所述观察孔之间,所述蒸镀装置包括上述技术方案所提的观察装置。本发明通过框体设有与观察孔的横截面夹角可调的挡板,并控制挡板表面的反射层位于挡板与所述观察孔之间,使得本发明提供的观察装置用于蒸镀装置时,在保证正常观察蒸镀装置镀膜的前提下,避免成膜材料沉积在观察窗的透明玻璃表面。
搜索关键词: 挡板 观察装置 蒸镀装置 观察孔 反射层 框体 横截面夹角 可调的 透明玻璃表面 成膜材料 控制挡板 观察窗 板面 沉积 镀膜 蒸镀 体内 观察 保证
【主权项】:
1.一种观察装置,包括框体,以及位于框体内的观察孔,其特征在于,所述框体设有与所述观察孔的横截面夹角可调的挡板,所述挡板的板面设有与所述观察孔相配合的反射层,所述反射层位于所述挡板与相配合的观察孔之间。
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