[发明专利]设备前端模块气体再循环

摘要

本发明涉及设备前端模块气体再循环。公开了用于使气体在设备前端模块(“EFEM”)中再循环的方法和装置，其包括在再循环期间提供气体和在再循环期间控制EFEM中的环境的气体流量、压力和组成的能力。

主权项

1.一种装置，其包括：设备前端模块(“EFEM”)，所述EFEM具有微环境，流体连接到所述微环境的进气室，EFEM气体出口，其位于所述EFEM的底部并与所述微环境流体连接，以及风机单元，所述风机单元被配置成使气体从所述进气室流动以移动通过所述微环境；排放机构，所述排放机构流体地连接到所述EFEM气体出口并且被配置成能在至少多个第一打开配置与多个第二打开配置之间转变，所述多个第二打开配置具有比所述多个第一打开配置的流导小的流导；再循环管道，其具有流体连接到所述进气室的第一端和流体连接到所述微环境的第二端；第一气体供应入口，其流体连接到所述进气室并且被配置成与第一气体供应源流体连接；第二气体供应入口，其流体连接到所述进气室并且被配置成与第二气体供应源流体连接；和控制器，其被配置为：(a)通过使气体从所述微环境流动通过所述再循环管道和所述进气室并返回到所述微环境中而在所述EFEM内引起气体再循环，(b)在(a)期间，使第一气体从所述第一气体供应源以第一流率流入所述进气室，而所述排放机构处于所述第一打开配置中的一个或多个第一打开配置中，(c)在(a)期间和在(b)之后，使所述第一气体从所述第一气体供应源以小于所述第一流率的第二流率流入所述进气室，而所述排放机构处于所述第二打开配置中的一个或多个第二打开配置中，以及(d)使第二气体从所述第二气体供应源流入所述进气室。