[发明专利]一种测试系统在审
| 申请号： | 201810589339.8 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN108627762A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 胡海;刘文斌;王泰山;李成鹏;李国泉 | 申请（专利权）人： | 深圳瑞波光电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山区西丽镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种测试系统，用于测试半导体激光芯片，测试系统包括上下料装置、探针组件和积分球组件；上下料装置包括多个工位，多个工位用于放置待测芯片；探针组件包括若干探针，若干探针设置在所述待测芯片的上方；积分球组件包括积分球，积分球设有开口，所述开口靠近所述待测芯片设置；当所述电流通过所述探针流经所述待测芯片的引脚时，所述开口接收到所述待测芯片发出的光信号。本申请通过将探针组件和积分球组件分别设置为可以沿竖直方向和水平方向移动，一方面保护了检测元件，延长了使用寿命，另一方面通过有序的运动进一步提高了测试速度。 | ||
| 搜索关键词： | 待测芯片 积分球 测试系统 探针组件 探针 上下料装置 开口 工位 水平方向移动 测试半导体 电流通过 激光芯片 使用寿命 组件包括 竖直 引脚 申请 测试 检测 | ||
【主权项】：
1.一种测试系统，用于测试半导体激光芯片，其特征在于，所述测试系统包括上下料装置、探针组件和积分球组件，所述上下料装置包括多个工位，所述多个工位用于放置待测芯片；所述探针组件包括若干探针，所述若干探针设置在所述待测芯片的上方，用于为所述待测芯片提供电流；所述积分球组件包括积分球，所述积分球设有开口，所述开口靠近所述待测芯片设置；当所述电流通过所述探针流经所述待测芯片的引脚时，所述开口接收到所述待测芯片发出的光信号，以测试所述待测芯片。
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