[发明专利]晶体材料熔化方法及熔化设备在审
申请号: | 201810607648.3 | 申请日: | 2018-06-13 |
公开(公告)号: | CN108754611A | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 李留臣;周正星 | 申请(专利权)人: | 江苏星特亮科技有限公司 |
主分类号: | C30B30/06 | 分类号: | C30B30/06 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;刘鑫 |
地址: | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种晶体材料熔化方法及熔化设备,通过在坩埚上连接振动机构,使晶体材料在熔化过程中保持振动,气泡气体能够向上顺利排出;同时,通过在坩埚外部自下而上设置至少两段加热器,自下而上依次间隔的对坩埚进行加热,使坩埚中的晶体材料从底部开始熔化,并逐步向上熔化,直至全部熔化;晶体材料在熔化过程中,气泡气体能够进一步向上顺利排出,保证熔化后的晶体材料中不含气体,避免人工晶体材料在生长过程中内部出现的气泡和孔洞问题,提高人工晶体材料的质量和成品率。 | ||
搜索关键词: | 熔化 晶体材料 坩埚 人工晶体材料 熔化设备 排出 加热器 孔洞 生长过程 振动机构 成品率 两段 加热 外部 保证 | ||
【主权项】:
1.一种晶体材料熔化方法,其特征在于:加热坩埚中的晶体材料,并同步振动所述坩埚,使所述坩埚中的晶体材料在熔化过程中保持振动,熔化的晶体材料中的气泡上升,从所述坩埚中向外逸出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏星特亮科技有限公司,未经江苏星特亮科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810607648.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:硅晶体的连续生长装置
- 下一篇:一种晶圆的生产工艺