[发明专利]一种快速上料的半导体光刻板清洗装置

摘要

本发明涉及一种半导体光刻板生产领域，尤其涉及一种快速上料的半导体光刻板清洗装置。一种快速上料的半导体光刻板清洗装置，该装置包括外罩机架组件以及依次设置在外罩机架组件内的上料机构、第一旋转抓取装置、第一定位顶升输送滚轮装置、第一输送滚轮装置、第一直线移动抓取机构、第一清洗装置、第二输送滚轮装置和第一粘尘机构；所述的上料机构包括放料座、辊道和上料小车；该装置采用自动化快速上料，提高了自动化程度高，批量处理能力强，可以广泛用于工业生产之中。

主权项

1.一种快速上料的半导体光刻板清洗装置，该装置包括外罩机架组件以及依次设置在外罩机架组件内的上料机构、第一旋转抓取装置、第一定位顶升输送滚轮装置、第一输送滚轮装置、第一直线移动抓取机构、第一清洗装置、第二输送滚轮装置和第一粘尘机构；所述的上料机构上的光刻板通过第一旋转抓取装置放置至第一定位顶升输送滚轮装置，第一定位顶升输送滚轮装置连接第一输送滚轮装置，第一输送滚轮装置上的光刻板通过第一直线移动抓取机构放置至第一清洗装置并由第一直线移动抓取机构取出放置至第二输送滚轮装置，第二输送滚轮装置连接第一粘尘机构；其特征在于，所述的上料机构包括放料座、辊道和上料小车；可移动式放料座用于放置待加工的光刻板，放料座底面平整，上部设置V型储料槽，V型储料槽的出料一边低于靠料一边；所述的辊道安装在两侧的辊道侧板中，辊道侧板固定安装在机架上，辊道与上料小车相互衔接，放料座能在辊道和上料小车上移动；所述的辊道的末端设置有料座锁紧装置锁紧放料座和辊道，并在辊道的外侧设置有小车锁紧装置锁紧上料小车和辊道。