[发明专利]铝线电阻的晶圆允收测试图形

摘要

本发明公开了一种铝线电阻的晶圆允收测试图形，包括：被测试铝线和4个沿直线依次排列的衬垫，4个所述衬垫的排列方向和被测试铝线的长度方向相同；被测试铝线设置在第二和三衬垫之间，第二衬垫和被测试铝线的第一宽度边接触，第三衬垫和被测试铝线的第二宽度边接触；第一衬垫通过第一连线和被测试铝线上的第一接点连接；第四衬垫通过第二连线和被测试铝线上的第二接点连接；4个衬垫和晶圆允收测试机台的探针卡的探针相对应，探针和对应的衬垫接触为带倾角接触，第一和第二连线都位于扎针锐角一侧的方向上，使探针打滑时不会接触到第一和第二连线。本发明能防止探针触碰到测试图形的连线并防止由此产生的测试异常。

主权项

1.一种铝线电阻的晶圆允收测试图形，其特征在于，包括：被测试铝线和4个衬垫，4个所述衬垫分别为沿直线依次排列的第一衬垫、第二衬垫、第三衬垫和第四衬垫；4个所述衬垫的排列方向和所述被测试铝线的长度方向相同；所述被测试铝线设置在所述第二衬垫和所述第三衬垫之间，所述第二衬垫和所述被测试铝线的第一宽度边接触，所述第三衬垫和所述被测试铝线的第二宽度边接触；所述第一衬垫通过第一连线和所述被测试铝线上的第一接点连接；所述第四衬垫通过第二连线和所述被测试铝线上的第二接点连接；所述第一接点位于所述被测试铝线的第一宽度边侧，所述第二接点位于所述被测试铝线的第二宽度边侧；4个所述衬垫和晶圆允收测试机台的探针卡的探针相对应，所述探针和对应的所述衬垫接触为带倾角接触，所述探针和从所述被测试铝线的第一长度边到第二长度边的方向的夹角为锐角，所述探针打滑时会滑向所述被测试铝线的第一长度边的外侧，所述第一连线和所述第二连线都位于所述被测试铝线的第二长度边的外侧，使所述探针打滑时不会接触到所述第一连线和所述第二连线。