[发明专利]金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法

摘要

本发明是一种金属遮罩清洁装置，其用以设于承载台上方并连接驱动机构，驱动机构能带动金属遮罩清洁装置进行三维方向移动，金属遮罩清洁装置包含基座及设于基座上的研磨机构，金属遮罩清洁方法是利用影像辨视手段检测该金属遮罩表面附着的异物位置并传输至控制装置，通过控制装置依据异物位置数据使驱动机构带动金属遮罩清洁装置移动至金属遮罩表面附着异物处，并驱动该研磨机构研磨去除金属遮罩表面附着异物，金属遮罩清洁装置主要是通过以研磨的方式清除金属遮罩表面的异物，不但能有效避免金属遮罩受损的问题，同时亦能藉此提高金属遮罩的重复使用率。

主权项

1.一种金属遮罩清洁装置，其特征在于，用以设置于一承载台上方并连接一驱动机构，所述驱动机构能带动该金属遮罩清洁装置进行三维方向移动，该金属遮罩清洁装置包含：/n一基座，其包含一座体及一固定组件，该座体包含一卡带装设部及一导带部，该导带部位于该卡带装设部的下方，该固定组件设置于该座体的卡带装设部，并与该座体的卡带装设部之间形成一装设区；以及/n一研磨机构，其设置于该座体上，该研磨机构包含：/n一研磨头，其设置于该座体的导带部并凸伸出该座体的底部；/n一卡带驱动组件，其包含一卷带马达、一张力马达、一卷带凸轴、一张力凸轴以及多个导带轴杆，该卷带马达及该张力马达间隔地设置于该卡带装设部处，该卷带凸轴连接受控于该卷带马达并伸入该装设区，该张力凸轴连接受控于该张力马达并伸入该装设区，该多个导带轴杆枢设于该座体的导带部，该研磨卡带组设置于该座体的卡带装设部；以及/n一研磨卡带组，其包含一外壳、二间隔设置的卷带轮及一研磨带，该二卷带轮可转动地设置于该外壳内，且该卷带凸轴与该张力凸轴分别伸入该二卷带轮，该研磨带绕过该多个导带轴杆及该研磨头的底部，且该研磨带的二端部伸入该外壳内并分别卷绕于该二卷带轮上。/n